仪器预约

首页 >  仪器预约 > 微纳研究中心

中文名称:电子束蒸发台

型号规格:TF500

负责人:张亮亮

E-mail:siten@163.com

生产厂商:英国HHV

机器状态:正常

对外服务:

联系电话:029-83395005

所在地点:曲江校区西五楼

设备预约

主要性能指标:

1.薄膜均匀性在4英寸范围内优于±5%; 2.水冷坩埚的数目为6个,坩埚的容量25cc; 3.自动坩埚导位功能,可以蒸镀多层膜; 4.Inficon薄膜沉积全自动控制,厚度实时测量。

主要功能:

1. 设备主要沉积金属薄膜,如金、铂、银、铝、铜、铬、钛、镍等材料,薄膜沉积速率、薄膜厚度在计算机上实时显示,并自动记录; 2. 工作腔室高达750mm,镀膜均匀性好,特别适合剥离(lift-off)工艺; 3. 设备特别适合蒸镀较厚的薄膜;