仪器预约

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中文名称:电子束直写系统

型号规格:CABL-9000C

负责人:张亮亮

E-mail:siten@163.com

生产厂商:crestec

机器状态:正常

对外服务:

联系电话:2983399513

所在地点:曲江校区西五楼微纳制造实验室

设备预约

主要性能指标:

真空度 10八次方torr 加速电压 30kv;电子束斑 3nm 曝光精度 20nm 。

主要功能:

纳米结构曝光,光子晶体制备,掩膜板制备.