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专利名称:
低成本制作复杂三维微结构或微器件方法
专利号(申请号):
ZL200610042831.0
批准日期(申请日期):
2010.01.15
批准部门:
国家知识产权局
发明人姓名:
兰红波,丁玉成, 刘红忠,卢秉恒
专利类型:
已授权
成果描述: