仪器设备
- 中文名称：多靶材溅射系统
- 型号规格：explorer 14
- 仪器状态：正常
- 对外服务：是
- 联系电话：83395005
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- 中文名称：深干法刻蚀机
- 型号规格：ICP-180
- 仪器状态：正常
- 对外服务：是
- 联系电话：029-83395005
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- 中文名称：光谱型椭圆偏振仪
- 型号规格：Alpha-se
- 仪器状态：正常
- 对外服务：是
- 联系电话：2983399513
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- 中文名称：台阶轮廓测量仪
- 型号规格：XP-2
- 仪器状态：正常
- 对外服务：是
- 联系电话：2983399513
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- 中文名称：白光相干相关轮廓测量仪
- 型号规格：CCI 6000
- 仪器状态：正常
- 对外服务：是
- 联系电话：029-83395005
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