主要性能指标：

测试台阶厚度范围：100A~400 UM； 测试精度：0.1nm，10nm，30nm(10micro，100micro，400micro)； 探头力的范围：0.05-10MG（静磁力系统）； 样品厚度：1.25inches； 样品直径：200mm

主要功能：

常用附件：大尺寸200mm真空吸样台，光学变焦系统 主要用途：用于测量轮廓、台阶高度、膜厚、薄膜应力 主要应用领域：光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺