中文名称:台阶轮廓测量仪
型号规格:XP-2
负责人:王苑
E-mail:helgirl229@qq.com
生产厂商:AMBIOS/美国
机器状态:正常
对外服务:是
联系电话:2983399513
所在地点:曲江校区西五楼洁净室
设备预约
主要性能指标:
测试台阶厚度范围:100A~400 UM; 测试精度:0.1nm,10nm,30nm(10micro,100micro,400micro); 探头力的范围:0.05-10MG(静磁力系统); 样品厚度:1.25inches; 样品直径:200mm
主要功能:
常用附件:大尺寸200mm真空吸样台,光学变焦系统 主要用途:用于测量轮廓、台阶高度、膜厚、薄膜应力 主要应用领域:光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺