中文名称：台阶轮廓测量仪
型号规格：XP-2
负责人：王苑
E-mail：helgirl229@qq.com
生产厂商：AMBIOS/美国
机器状态：正常
对外服务：是
联系电话：2983399513
所在地点：曲江校区西五楼洁净室
设备预约
主要性能指标：
测试台阶厚度范围：100A~400 UM； 测试精度：0.1nm，10nm，30nm(10micro，100micro，400micro)； 探头力的范围：0.05-10MG（静磁力系统）； 样品厚度：1.25inches； 样品直径：200mm
主要功能：
常用附件：大尺寸200mm真空吸样台，光学变焦系统 主要用途：用于测量轮廓、台阶高度、膜厚、薄膜应力 主要应用领域：光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺
中文版
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