主要性能指标：

Z轴分辨率：0.01nm，不确定度17nm，因子k=2 Z轴量程：100微米 量测范围（x*y） 0.36mm*0.36mm到1.8mm*1.8mm, 可水平方位拼接。 被测物体反射率：0.5﹪到100﹪ 常用附件：10，20，50倍光学镜头 注意事项：样品重量不能超过1kg。

主要功能：

主要用途：Mems微小尺寸计算，物体表面三维形貌，物体表面粗糙度 主要应用领域：MEMS结构，金属材料，复合材料，陶瓷材料等