主要性能指标：

技术参数 1. 闭环扫描管：XY>90μm，Z>7.5μm 2. 开环扫描管：XY>5μm, Z >1.5μm 3. 样品尺寸： X-50 mm x Y-50mm x Z-18 mm 4. 电动Z 轴载物台：Z 轴行程： 18mm 5. 光学系统： 摄像头： 轴线彩色CCD，带电动变焦 6. 视场： 1.24mm x0.25mm (电动变焦，10x 物镜) 7. 分辨率： <2 μm，标准10x 物镜(50x 物镜<0.75μm) 8. 电子电路：20 位dac 控制器，100khz、±10v adcs，数字反馈器件 主要特点 1. 独有的闭环扫描控制，在开环噪声水平上提供三维精确测 2. 高分辨光学系统辅助精确探针定位 3. 快速更换探针, 开放的样品台设计使得使用更方便，更容易 4. 拥有所有spm 操作模式，为科学研究提供更高的应用灵活性 5. 卓越的信号读录与输入功能便于用户自己设计研究方法

主要功能：

仪器简介 Innova 具有非常强的灵活性，高性价比地满足各项科研的要求。独一无二的闭环扫描线性化系统、卓越的设计及工艺确保测量精度以及接近于开环运行时的噪音水平。可以轻松地在60微米扫描管上实现原子级分辨率。 主要功能 气相和固体微结构测试，表面形貌，薄膜表面粗糙度检测，Innova SPM 扫描探针显微镜以其高分辨率和出色的品质，广泛应用于物理、生命科学和材料科学等诸多领域。 注：拷贝数据请自带光盘，样品尺寸 X-50 mm x Y-50mm x Z-18 mm 请保证样品正反两面干净、平整