成果转化-精密微纳制造技术全国重点实验室

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高温高敏薄膜应变传感器

在物联网（IoT）设备快速普及的背景下，智能电网、工业自动化及城市基础设施监测等领域对可持续自供能传感解决方案的需求日益迫切。磁-机-电能量收集器（MME-EHs）因其能够从现代基础设施中无处不在的环境

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2025-12
高动态自由场高温压力传感器

的日常监测与早期预警提供了新技术、新希望。该研究提出了一种皮肤自适应聚焦超声（Skin-Adaptive Focused Ultrasound, SAFU）血流多参数测量方法，利用全阵元同相位激励超声和皮肤固有的曲率特性实现

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2025-12
系列化标准物质

芯片制造的每一个工艺环节都需要进行微纳米级的精准检测和量值溯源。我国量产芯片现在仅到14nm，确保产品质三与性能的高准确度微纳米几何三标准物质基本被国外垄断。

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2025-12
MEMS电容加速度传感器及应用

加速度传感器由于可以直接测量加速度并解算速度、位移、位置、角度等信息进而实现振动监测、惯性导航、姿态控制等功能，因此广泛应用于消费电子、智能制造、国防安全、航空航天等领域

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2025-12
高精度石英谐振加速度计

高精度加速度计作为惯性测三与导航系统的关键核心器件，是实现运动载体加速度和位置信息精确测量的基础，其性能直接影响惯性导航与姿态控制系统的精度

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2025-12

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