网格压力传感芯片及制备方法、压力分布式传感器-精密微纳制造技术全国重点实验室

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专利名称：	网格压力传感芯片及制备方法、压力分布式传感器
专利号（申请号）：	ZL200810017284.X
批准日期（申请日期）：	2010.01.08
批准部门：	国家知识产权局
发明人姓名：	赵玉龙, 周高峰, 蒋庄德, 赵立波, 王新波
专利类型：	已授权
成果描述：