三维微力硅微传感器-精密微纳制造技术全国重点实验室

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专利名称：	三维微力硅微传感器
专利号（申请号）：	ZL200810150217.5
批准日期（申请日期）：	2010.11.02
批准部门：	国家知识产权局
发明人姓名：	赵玉龙, 林启敬, 蒋庄德, 王鑫垚, 杨川, 赵立波
专利类型：	已授权
成果描述：