曲面样品基底涂层厚度的测量方法及样品装卡工具-精密微纳制造技术全国重点实验室

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专利名称：	曲面样品基底涂层厚度的测量方法及样品装卡工具
专利号（申请号）：	ZL200910020925.1
批准日期（申请日期）：	2010.04.27
批准部门：	国家知识产权局
发明人姓名：	王海容, 陈灿, 孙国良, 任军强, 苑国英
专利类型：	已授权
成果描述：