一种用于点扫描激光共焦显微镜的面内扫描方法和系统-精密微纳制造技术全国重点实验室

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专利名称：	一种用于点扫描激光共焦显微镜的面内扫描方法和系统
专利号（申请号）：	ZL200710018579.4
批准日期（申请日期）：	2010.01.15
批准部门：	国家知识产权局
发明人姓名：	王昭, 王春勇, 赵宏
专利类型：	已授权
成果描述：