一种加工过程控制系统及多层的动态跟踪控制方法-精密微纳制造技术全国重点实验室

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专利名称：	一种加工过程控制系统及多层的动态跟踪控制方法
专利号（申请号）：	ZL200910023454.X
批准日期（申请日期）：	2010.10.12
批准部门：	国家知识产权局
发明人姓名：	赵丽萍, 徐大敏, 要义勇, 江平宇, 秦永涛
专利类型：	已授权
成果描述：