项目名称：快速退火炉
项目联系方式：
项目联系人：朱老师
项目联系电话：13002939960
采购单位联系方式：
采购单位：机械制造系统工程国家重点实验室
联系人和联系方式：王老师，83395052，sklms@xjtu.edu.cn
联系地址：西安市雁翔路99号交大曲江校区西五楼
一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：
（一）系统技术指标及性能参数要求：
1. 退火样片尺寸：一次可以对1片4英寸（或者小于4英寸的样品）退火，支持不规整样品退火；
2*.退火温度范围：室温到1200°C，全量程温度量测必须采用热电偶；
3. 最快升温速率150°C/s；
4. 最快降温速率200K/min（T=400°C-1200°C），30K/min（T=100°C-400°C）；
5. 温度控制重复性：±1°C；
6*.保温时间：1200°C≥30s，1000°C≥600s，800°C≥2h；
7*.红外卤素灯灯管排布必须上下交叉排列具备双面加热且有温度补偿加热区域；
8*.整片样片退火温度均匀性达到：≤1.5%设定温度；
9. 配置两路工艺制程气体，采用MFC流量计控制且具备混气功能；
10.设备必须具备真空退火工艺能力，真空度可达10-3hPa，也可升级至高真空10-6hPa；
11*.设备必须配备可操控人机界面，液晶触控面板操作，方便编程操作；
12.设备配备SPS SIMATIC 软件控制工艺过程，可编程序不少于50个，且每个程序可编程步骤不少于50步，可实现远程操作控制。
（二）质保和售后要求：
1.免费安装调试及技术培训
2.一年质保
二、对供应商资格要求：
（一）供应商的资格要求
1.具有独立法人资格及相关证照，具有良好信誉及合同履行能力，具有良好资金、财务状况。
2.供应商能够自行完整应提供本采购需求项下所有服务，除采购文件明确的或经采购人书面同意以外，不得将本项目项下全部或部分服务分包或转包。
3.供应商不得被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为名单记录，且在西安交大采购办供应商库中无不良记录。
（二）供应商报名方式
符合本公告要求的供应商，发送邮件至sklms@xjtu.edu.cn报名。报名时间：2020年5月14日至2020年5月20日。报名信息须包含：供应厂商信息、法定代表人信息、委托代理人信息、联系方式（邮箱、电话）等。
三、采购文件的发布时间及地点等
预算金额：45.71万元
磋商时间：2020年5月21日
获取磋商文件时间： 2020年5月14日至2020年5月20日
获取磋商文件方式：报名的供应商将通过邮件获取磋商文件
响应文件递交时间： 2020年5月21日
响应文件递交地址： 西安市雁翔路99号交大曲江校区西五楼A420第一会议室
响应文件开启时间： 2020年5月21日
响应文件开启地点： 西安市雁翔路99号交大曲江校区西五楼A420第一会议室