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三维微力硅微传感器

时间：2018-11-03点击数：

专利名称： 三维微力硅微传感器
专利号（申请号）： ZL200810150217.5
批准日期（申请日期）： 2010.11.02
批准部门： 国家知识产权局
发明人姓名： 赵玉龙, 林启敬, 蒋庄德, 王鑫垚, 杨川, 赵立波
专利类型： 已授权
成果描述：

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