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梁膜结合微压传感器

时间:2018-11-03点击数:

专利名称: 梁膜结合微压传感器
专利号(申请号): ZL200910024321.4
批准日期(申请日期): 2010.11.02
批准部门: 国家知识产权局
发明人姓名: 蒋庄德, 田边, 赵玉龙, 廖南生
专利类型: 已授权
成果描述: