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低成本制作复杂三维微结构或微器件方法

时间：2018-11-03点击数：

专利名称： 低成本制作复杂三维微结构或微器件方法
专利号（申请号）： ZL200610042831.0
批准日期（申请日期）： 2010.01.15
批准部门： 国家知识产权局
发明人姓名： 兰红波,丁玉成, 刘红忠，卢秉恒
专利类型： 已授权
成果描述：

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