中文名称：电子束蒸发台
型号规格：TF500
负责人：张亮亮
E-mail：siten@163.com
生产厂商：英国HHV
机器状态：正常
对外服务：是
联系电话：029-83395005
所在地点：曲江校区西五楼
设备预约
主要性能指标：
1.薄膜均匀性在4英寸范围内优于±5%；
2.水冷坩埚的数目为6个，坩埚的容量25cc；
3.自动坩埚导位功能，可以蒸镀多层膜；
4.Inficon薄膜沉积全自动控制，厚度实时测量。
主要功能：
1. 设备主要沉积金属薄膜，如金、铂、银、铝、铜、铬、钛、镍等材料，薄膜沉积速率、薄膜厚度在计算机上实时显示，并自动记录；
2. 工作腔室高达750mm，镀膜均匀性好，特别适合剥离（lift-off）工艺；
3. 设备特别适合蒸镀较厚的薄膜； 
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