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激光干涉仪

时间：2018-11-03点击数：

中文名称：激光干涉仪

型号规格：XL-80

负责人：彭荣杰

E-mail：rpj@mail.xjtu.edu.cn

生产厂商：雷尼绍公司

机器状态：正常

对外服务：是

联系电话：029-83395389

所在地点：交大曲江校区西五楼负一层023室

设备预约

主要性能指标：

最高位置分辨率：10纳米 三角架、补偿器、温度/压力传感器。 计数卡、工业控制计算机及软件。

主要功能：

位置检测； 数控机床动态特性分析； 数控机床动态特性监测分析。

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