主要性能指标：

二次电子分辨率：0.8nm（15KV），1.6nm（1KV）；背散射电子分辨率：2.0nm（15KV）；放大倍数：12X~350,000X；可分析元素：5(B)－92(U)；加载配件:能谱仪(EDS)、背散射电子衍射分析仪(EBSD)、原位拉伸台。

主要功能：

扫描电镜可对金属、陶瓷、矿物、岩石等材料进行显微观察和分析研究。X-射线能量色散谱仪，简称能谱仪(EDS)，可进行微区的常量元素定性和定量分析。EBSD相关配件可以做衍射花样图、相分布图、取向分布图、晶粒大小、高角度分辨率t-EBSD分布图检测变形带、同步采集EDS获得Cu、Mg等元素分布图、夹杂物等方面的分析。原位拉伸台用于原位观察材料显微组织的动态变化，微型拉伸、压缩、三点、四点弯曲等试验研究断裂机制。