中文名称：3D形貌显微镜
型号规格：VHX-5000
负责人：李彬
E-mail：libin2008_libin@163.com
生产厂商：KEYENCE
机器状态：仅测试使用
对外服务：是
联系电话：17762018756（预约请电话联系）
所在地点：山东省青岛市胶州国家级经济技术开发区生态大道1号
设备预约
主要性能指标：
放大倍数：光学20-2000X，电动变焦；物理景深：最大可达到34mm；载物台：电动载物台，X/Y轴行程40mm，Z轴测量范围35mm；观测角度:调整范围为-90°~+60°；录像系统：录像频率15帧/秒、30帧/秒、50帧/秒可切换；图像拼接：自动进行2D和3D图像拼接，可复现三维形貌，景深叠加。
主要功能：
用于焊接接头形貌、磁控溅射表面形貌、金属材料断口、微纳加工制造、MEMS研究等
