主要性能指标：

旋转泵：2级直连式高速真空泵24L/min（60Hz）AC220V100W；旋片试机械泵：100L/min；真空控制：自动，真空度液晶屏显示，溅射完毕自动卸载真空；最大电离电压：3KV；离子电流：1-9mA；靶材:铂金靶材Pt/Ø50*0.1T（厚度）；样品室：内径100mm*100高；样品台：可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm。

主要功能：

主要用于对非导电样品进行表面镀膜处理，以适应扫描电镜分析要求，避免电荷效应的产生。