论文标题: |
Fabrication of high-aspect-ratio microstructures using dielectrophoresis-electrocapillary force-driven UV-imprinting |
作者姓名: |
Li XM, Shao JY, Tian HM, Ding YC, Li XM |
刊物名称(出版社): |
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING |
年卷期页: |
v 21, n 6,文献编号: 065010 ??出版年: JUN 2011 |
索引号: |
SCI:769NI EI:20112314037209 |
著作类型: |
国际学术期刊 |
著作简介: |
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