中文名称：电子束直写系统
型号规格：CABL-9000C
负责人：张亮亮
E-mail：siten@163.com
生产厂商：crestec
机器状态：正常
对外服务：是
联系电话：2983399513
所在地点：曲江校区西五楼微纳制造实验室
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