主要性能指标：

超声探头频率5MHz~230MHz，X、Y扫描极限分辨率为±9μm(频率为230MHz)，2个独立通道，增益最大95dB，具有实时扫描、反射扫描、透射扫描等功能。X、Y工作范围为300mm*300mm，Z轴方向空间为300mm。反射法与透射法结合的水浸聚焦，扫描速度最大600mm/s，样品最大厚度为10mm.

主要功能：

利用不同材料对超声波声阻抗不同，对声波的吸收和反射程度不同，来探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析。 D9500以其无与伦比的精度和稳定性成为了现代微声学成像的标准，是失效分析、工艺开发、材料分析与表征和小批量生产检测的最佳选择。D9500采用同时传输和反射模式及透射模式，应用更新，更符合人体工程学设计。