主要性能指标：

二次电子分辨率 1.0nm（加速电压15kV、WD＝4mm） 1.3nm（加速电压1kV、WD＝1.5mm） 加速电压 0.1～30kV 观测倍率 20～8000,000(底片输出) 60～2,000,000（显示器输出） 马达驱动 3轴马达 5轴（选配） 行程 X 0～50mm Y 0～50mm Z 360° T -5～70° R 1.5～30mm 最大装载尺寸 100mm（最大） 150mm（选配） 标配 Lower 高立体感图像 Upper 高分辨SE、BSE图像 选配 STEM 明场像、暗场像 YAG 探头 BSE图像 半导体探头 BSE图像 EBIC 电子束感生电流图像 EDS 元素分析 反污染措施 冷指 标配 物镜光阑 内置自清洁功能 电子枪 内置加热器 真空系统 离子泵 3台 分子泵 1台 机械泵 1台

主要功能：

1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成。 注：中午只对学院内部开放，拷贝数据请自带CD光盘，非金属样品需提前喷金，含有水分的样品需提前烘烤，避免污染腔室,磁性金属样品含有Fe、Co、Ni、Gd不能检测~~~~~~~~~~~