主要性能指标：

1. 最大电压：160 KV；最大靶功率：10W；三维分辨率：1.5 μm 2. 最大样品重量：5 kg；最大样品尺寸：440 mm×550 mm 3. 操作软件：FGUI 3.0（二维），VG Studio 2.1（三维） 4. 标准操作轴：X，Y，Z，探测头倾斜角度：145 度 (±72.5°)

主要功能：

Y.Cheetah 是多功能微焦点X 射线检测系统，结合了Feinfocus的专利技术与先进的高速平板检测技术，可以通过X 射线检测样品三维立体形貌及内部结构，可进行电子产品、微系统、产品装配、原材料及成品的检测，满足新产品研发、原型机设计、失效分板及生产工艺流程控制需求。