主要性能指标：

喷雾涂胶系统：专利技术的胶粒过滤器和喷胶系统， 以及可编程控制的兆声喷雾头，可对深几何结构进行均匀涂胶。喷胶臂转动速度可编程，喷胶流量、喷胶头Z轴位置及其与基片的倾斜角度均可软件调节，从而得到高质量的深几何结构台阶覆盖。胶液消耗低，与旋转涂胶工艺相比，约节省胶液60%-80%。专有技术设计，基片旋转速度最大为 10000 转/分，旋转加速度最大为40000rpm/sec，以实现高胶膜厚度均匀性。

主要功能：

旋转涂胶系统：高的基片旋转速度，高的旋转加速度，从而得到高的膜厚均匀性。多种供胶方式，满足不同应用的涂胶需求工艺室上盖，有效控制腔室内的有机气氛，避免了厚胶涂敷产生的“棉花糖”效应，其上集成了六个喷头可自动清洗腔室内壁上的残胶。 喷雾涂胶系统：可对深几何结构进行均匀涂胶。