主要性能指标：

技术参数： 1. 分辨率：高真空条件下在25KV下二次电子成像分辨率为3.0nm；低真空条件下在25KV下。 2. 背散射电子成像分辨率为4.0nm。 3. 放大倍数：5-300,000倍；加速电压：0.3-30KV。 4. 样品室可变真空度范围：1~270Pa。 5. 样品台：样品台10mm，60mm，150mm。 -------------------------------------- 主要特点： 1. 二次电子分辨率 3.0nm (25kV,高真空模式)。 2. 图像移动范围 ±20μm(WD=15mm)。 3. 电子枪： U型钨丝。 4. 扫描方式 TV，慢速(4步)，照相(4步)，分开。 5. 自动聚焦，自动像散校正；自动亮度和对比度调节。 6. 自动灯丝饱和度调节；系统保护 断电、失真空和缺水保护。

主要功能：

仪器简介： S-3000N是可变压力的SEM，1280 x 960分辨率的高密度图像帧存储器可以帮助获得并储存高质量的图像。S-3000N具备Windows NT界面，独特的双偏台功能，即使在低电压也有不错的性能；和普通PC类似的用户友好操作环境；交互式显示器显示和鼠标操作；旋钮和鼠标控制都可以用于SEM参数设置。可针对MEMS结构，金属材料，复合材料，陶瓷材料等可进行材料表面及断口形貌观察，微观组织观察，微小几何量测量。