中文名称：多靶材溅射系统
型号规格：explorer 14
负责人：朱瑄
E-mail：
生产厂商：Denton Vacuum，美国
机器状态：正常
对外服务：是
联系电话：83395005
所在地点：超净室A区
设备预约
主要性能指标：
三个3英寸靶枪；
配有不锈钢真空室，尺寸为18英寸*18英寸*12英寸；
配有可加温至400℃(故障)，可旋转的6英寸工作台；
极限真空可抽至<5e -7mbar 。 cu，ni，al，ti，cr，wu，pd。。。
主要功能：
主要用于微纳研究中各类薄膜的加工制作。 
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