主要性能指标：

1. 高性能HeNe激光(632.8nm，1.0mW)；单值角度计(入射角70°)。 2. 附加近红外（1550nm）光路；单点测量时间小于1秒钟。 3. 精度 20A（埃）；单层与多层膜测量。

主要功能：

常用附件： 1. 高度与倾角可调的手动样品台；显微镜自动校准系统。 2. 计算机与软件：获取，校准与处理数据；直径100mm的样品硅片(标度厚度101.4nm)。 3. 激光二极管系统；分光计与1550nm 1/4滤波片。 4. 附加探测器与软件系统。 主要用途： 主要用于MEMS（微型电子机械系统）以及微细加工技术研究中，透明及弱吸收薄膜样品的参数测量(厚度，折射率与光学系数)。纳米技术中的薄膜材料性质测量以及其它薄膜材料的参数测量附加红外光可用于非透明膜的测量。