主要性能指标：

技术参数： 1. 真空室：Φ400mm×H400mm；基片台尺寸：Φ120mm。 2. 工件运动方式：公转无级变速可控可调（0-30RPM）。 3. 极限真空：5.0×10-5Pa；气到10-3Pa小于20分钟。 主要特点 1. 三对蒸发电极，3台蒸发电源，分子泵+机械泵真空系统。 2. 报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施。

主要功能：

仪器简介：    ZHD-400型高性能蒸发镀膜设备，真空系统为由主阀、分子泵、机械泵组成高真空抽气系统，真空室为优质不锈钢腔室，含三对水冷蒸发电极。选用全新的工控机自控控制，具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点。